11.3. ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА

11.3. ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА

Под технологической электроникой обычно понимается совокупность методов и средств для создания и использования электронных и ионных пучков или электромагнитных волн с целью непосредственного воздействия на объект, подвергающийся обработке.

Для осуществления такого воздействия во второй половине XX в. уже создано и продолжает появляться множество разнообразных устройств, установок и комплексов, которые в целом следует отнести к категории «технологического оборудования» независимо от того, служит ли оно металлургии или медицине, получению новых веществ или обработке материалов, производству или приготовлению пищевых продуктов, изготовлению электровакуумных приборов или интегральных схем.

Общепринятой классификации установок технологической электроники пока не существует, однако все разнообразие рассматриваемого оборудования укрупненно можно разделить на несколько классов. Это установки, использующие энергию:

электронных и ионных потоков;

электромагнитного излучения оптического диапазона (некогерентного и когерентного излучения);

электромагнитного излучения СВЧ-диапазона;

высокочастотных колебаний (нагрев проводников и диэлектриков в высокочастотном электромагнитном поле).

Собственно технологические вопросы излагаются в гл. 7, в данной главе уделено внимание только источникам.

Установки указанных классов могут дополнительно характеризоваться общими и отличительными признаками, зависящими от того, что собой представляет сам объект, бомбардируемый потоком заряженных частиц или облучаемый электромагнитными волнами; какой результат должен быть получен в результате технологического процесса; в каком режиме (непрерывном, импульсном) и в какой среде (рабочей, защитной, окружающей) он проводится и, естественно, в какой конкретной отрасли применяется.